上海精測半導體 12寸獨立式OCD機臺與全自動Review SEM設備出機

2021年7月13日，在上海精測半導體技術有限公司成立三周年之際，經過全體精測人的努力拼搏，迎 來了屬于自己的榮耀時刻：國內首臺12寸獨立式光學線寬測量設備（OCD）與國內唯一12寸全自動 電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）順利出機。

國內首臺12寸獨立式光學線寬測量機臺

12 寸獨立式光學線寬測量機臺 (OCD) 是該類型的國內首臺機臺，主要用于 45nm 以下、特別是 28nm 平面CMOS 工藝的量測，并可以延伸支持上述先進工藝節(jié)點的快速線寬測量。EPROFILE 300FD 測量系統(tǒng)擁有完全自主知識產權，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產化機臺。

配套 EPROFILE 300FD，上海精測還同時發(fā)布了新一代電磁場仿真建模工具 J_ProfilerTM V3.0 ；該款軟件允許用戶在數(shù)百核的高速建模運算服務器上進行 OCD 建模與庫匹配，可以在獲取復雜三維納米結構光譜變化信息后，實時高速的對于納米結構的各個維度精確值進行計算。

EPROFILE 300FD 和 J_ProfilerTM V3.0 將為國內高節(jié)點產線提供穩(wěn)定、實時、高速的量測解決方案。

12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備

12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（ReviewSEM）是上海精測半導體的另一項主力產品。公司從底層開發(fā)做起，掃描電子顯微鏡、配套掃描成像電路等關鍵核心部件均為自主設計，自主知識產權，并用了近兩年的時間打通了電子顯微鏡核心零部件加工的國產化供應鏈。此次出廠的機臺配備了基于深度學習的高準確率智能化自動缺陷檢測與分類算法，將進一步幫助客戶提升缺陷復查分析的效率并顯著提升設備使用的便捷性。

上海精測半導體技術有限公司通過自主構建研發(fā)團隊及海外并購引入國產化等手段，實現(xiàn)半導體測試、制程設備的技術突破及產業(yè)化，成為全球領先的半導體測試設備供應商及服務商。通過與多家知名研發(fā)中心、大學院校開展合作，共同開發(fā)新型檢測解決方案，提升國內半導體檢測裝備行業(yè)的技術水平。